Het kleurloze van de de Gassen44l 99,95% Zuiverheid van C4F6 Elektronische hexafluoro-1,3-Butadieen van het de Cilindergas

C4F6 etsgas voor Halfgeleiderverwerking

Beschrijving:

C4F6 (hexafluoro-1,3-Butadieen) wordt gebruikt want diëlektrisch toepassingen ets. Het hexafluoro-1,3-butadieen is een giftig, kleurloos, geurloos, brandbaar vloeibaar samengeperst gas.

Pakket: 44~49L cilinder, de klep van CGA350 SS

Vullende inhoud: 20kg/cyl

C4F6, is een milieuvriendelijk, krachtig de specialiteitgas van de halfgeleidervervaardiging dat
verstrekt de hoogte tarieven, goede beeldverhoudingcontrole en hoge selectiviteit aan etst
photoresist in kritieke diëlektrisch etst toepassingen.

C4F6 het gas verbetert diëlektrisch etst procesresultaten op vele zeer belangrijke verwerkingsgebieden, met inbegrip van toepassingen van koper de dubbele damascene en de lage diëlektrische materialen van K voor 0,13 microns en voorbij spaanderontwerpen. Sifren 46 verstrekt ook milieuvoordelen in lage globale het verwarmen emissies en nul
het potentieel van de ozonuitputting.

FYSIEKE EN CHEMISCHE EIGENSCHAPPEN

STANDAARDpakket INFORMATIE-AZIË EN NOORD-AMERIKA

Toepassingen:

1. De Processen van de plasmaets voor sub-Kwart Micronapparaten.

2. Plasma van het Perfluorocarbon het Alternatieve Gas

3. Gebruikt in TFT-LCDs en photovoltaics.