C4F6 gas hexafluoro-1,3-Butadieen Elektronische Gassen voor Onderzoek Chemisch Laboratorium

C4F6 gas, hexafluoro-1,3-Butadieen voor onderzoek chemisch laboratorium

Beschrijving:

Hexafluoro1,3‐ butadine is een giftig, kleurloos, geurloos, brandbaar vloeibaar samengeperst gas.

C4F6 het gas als etchant gas voor een hoog gat ets van het beeldverhoudingcontact kan een goed zijn

alternatief voor PFC-gassen.

hexafluoro-1,3-butadieen (C4F6) het droge etsgas dat het zich in Rusland heeft ontwikkeld. C4F6 laat droge ets bij een lijnbreedte toe van zo smal zoals 90 NM of minder. Het is daarom onontbeerlijk voor verwerkingssysteem LSIs en hoge snelheid, geheugenapparaten met hoge capaciteit die meer en meer in digitale elektrische toestellen en liquide crystale displays worden gebruikt.

Fluorocarbon de gassen worden wijd gebruikt voor het oxydefilm van het verwerkingssilicium. Vergeleken die met octafluorocyclobutane (C4F8) momenteel voor verwerking bij de lijnbreedte wordt gebruikt van 130 NM, heeft C4F6 de volgende voordelen:

1.Very lage milieulading aangezien het in minder dan twee die dagen in de atmosfeer wordt ontbonden (met 3.200 jaar voor C4F8 wordt vergeleken)

2.Therefore, nuttig als alternatief aan perfluorocarbons met hoog globaal het verwarmen potentieel.

3.High beeldverhouding, die in smalle en diepe groeven resulteren (geschikt om bij zeer smalle lijnbreedte te verwerken).

4.High selectiviteit (verzekert ets van slechts de film van het siliciumoxyde; beïnvloedt photoresist, siliciumsubstraat of nitride geen film)

FYSIEKE EN CHEMISCHE EIGENSCHAPPEN

STANDAARDpakket INFORMATIE-AZIË EN NOORD-AMERIKA

Toepassingen:

1. Het kan in op fluor-gebaseerd ets gebruiken.

2. C4F6 kan als organometallic film gebruiken vormt gassen.