NF3 99.99~99.999% Zuiverheids Kleurloze Elektronische Gassen met Beschimmelde Geur, Kookpunt −129.06 °C

NF3, Vloeibaar Gas, Stikstoftrifluoride, 99.99~99.999%, Gebruikt in Elektronische Industrie

Beschrijving:

Het stikstoftrifluoride (NF3) is een kleurloos en stabiel gas in de omringende omstandigheden. Het gas is onbrandbaar maar kan verbranding steunen. Wanneer de temperatuur boven 350℃ is, zal het gas langzaam ontbinden om fluor van sterke oxydatie te produceren en daarom, is het een sterk oxidatiemiddel bij op hoge temperatuur.

De resulterende fluoratomen zijn de actieve schoonmakende agenten die polysilicon, het siliciumnitride en het siliciumoxyde aanvallen. Het stikstoftrifluoride kan ook met wolframsilicide, en wolfram worden gebruikt door CVD wordt geproduceerd dat.

NF3 is beschouwd als ecologisch verkieslijk substituut voor zwavelhexafluoride of perfluorocarbons zoals hexafluoroethane. Het procesgebruik van de chemische producten in plasmaprocessen is worden toegepast typisch onder 20% die. Daarom ontsnapt enkele PFCs en ook enkele NF3 altijd in de atmosfeer. De moderne systemen van de gasvermindering kunnen dergelijke emissies verminderen.

Specificaties:

1. Fysische eigenschappen

2. Typische technische gegevens

3. Pakket

PUNT 3AA/van het staalcilinders van GB5099 naadloze de toncilinder

Toepassingen:

Het stikstoftrifluoride (NF3) is wijd gebruikt in de elektronische industrie, halfgeleider en zonne de foto-elektriciteit industrie enz. het een goede etsend en schoonmakend gas met voordelen van geen het blijven is, hoge het schoonmaken snelheid en gemakkelijk te ontbinden.