Gedetailleerde informatie

Toepassing:	248nm lithografieproces en Gemengd met Halogeen die Gemengde Gassen gebruiken	CAS No.:	7439-90-9
De V.N. Nr:	1982	Zuiverheid::	99.999%
Pakket::	naadloze staalcilinders	Andere Namen:	Tetrafluoride van de zuurstofkoolstof Mengsel
Verschijning::	Kleurloos gas	Cilindersvolume::	10L, 25L, 40L of 50L
Rangnorm:	De Rang van de elektronenrang	Giftig:	Niet-toxisch
Markeren:	de specialiteitgassen van luchtproducten , de specialiteitgassen van luchtliquide

Productomschrijving

De Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels 20% van de V.N. 1982 met Koolstoftetrafluoride

Beschrijving:

Specialiteitgasmengsels

Koolstoftetrafluoride is een bron van fluor of koolstoffluoride vrije die basissen in een verscheidenheid van wafeltje worden gebruikt etchprocesses. Koolstoftetrafluoride wordt gebruikt met zuurstof om polysilicon, siliciumdioxyde, en siliciumnitride te etsen.

Koolstoftetrafluoride is vrij inert in de normale omstandigheden en is asphyxiant. In rf-de plasmaomstandigheden, zijn de fluor vrije basissen typisch in de vorm van CF3

of CF2. Een hogere zuiverheid CarbonTetrafluoride resulteert in superieure controle van het proces, dat in betere dimensionale en profielcontrole resulteert.

Andere halocarbons, evenals aanwezigheid van lucht of zuurstof, zijn schadelijk aan de controle van anisotroop etsen.

Specificaties:

1. Fysische eigenschappen

Major Components
COMPONENTEN	CONCENTRATIE	WAAIER
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Saldo

2. Typischetechnischegegevens(COA)

Maximumonzuiverheden
COMPONENTEN	CONCENTRATIE (p.p.m.)
Kooldioxide (Co2)	<1>
Koolmonoxide (Co)	<1>
Vochtigheid (H2O)	<0>
Stikstof (N2)	<10>
Zuurstof (O2)	<5>
THC (als Methaan) (ch4)	<0>
Andere Halocarbons	<1>
Zwavelhexafluoride	<1>

Cilinder Specifications*			Inhoud	Druk
Cilinder	De Opties van de klepafzet		Ponden	Psig	BAR
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

De Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels 20% van de V.N. 1982 met Koolstoftetrafluoride 0

Toepassingen:

Tetrafluoromethane wordt soms gebruikt als lage temperatuurkoelmiddel.

Het wordt gebruikt in elektronikamicrofabrication alleen of in combinatie met zuurstof als plasma etchant voor silicium, siliciumdioxyde, en siliciumnitride.

Het heeft ook gebruik in neutronendetectors

label:

Plaats van herkomst:	China
Merknaam:	Newradar Gas
Certificering:	ISO/DOT/GB
Modelnummer:	N/A

Min. bestelaantal:	1000 Liter
Prijs:	negotiable
Verpakking Details:	10kg, 40kg of 50kg in de gekwalificeerde die gasfles wordt of volgens de eisen wordt ingepakt ingepa
Levertijd:	15-25 ontvingen de werkdagen na uw betaling
Betalingscondities:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Levering vermogen:	3,00 kubieke meter per maand

De Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels 20% van de V.N. 1982 met Koolstoftetrafluoride

de specialiteitgassen van luchtproducten

de specialiteitgassen van luchtliquide

speciale gassen,

de specialiteitgassen van luchtliquide,

de specialiteitgassen van luchtproducten

Kleurloze Specialiteitgasmengsels

Excimer Laser Speciale Gassen

De Specialiteitgasmengsels van Co SF6

KrF MIX94F-49-6900 Premix lasergas met cilinder Fluor Krypton helium Neon

Van de Specialiteitgasmengsels 248nm van het kryptonneon de Lithografieproces

Van de Specialiteitgasmengsels van het argonneon het Elektronenrang van CAS 7440-59-7

De in het groot 99,999% Zuivere Prijs van het Heliumgas hij

Van de het MengselVerkeersveiligheid van China het Gas van de de Opsporingskaliberbepaling