Kleurloos Excimer Lasergas

Excimer van het het Argonfluoride van het Lasergas de Prijsmengsels van ArF in 1L worden ingepakt - 50L-Cilinders die

Beschrijving:

Een laser van het argonfluoride absorbeert energie uit een bron, veroorzakend het argongas om met het fluorgas te reageren producerend argonmonofluoride, tijdelijke complex, in een opgewekte energiestaat:
2 AR + F2 → 2 ArF

Het complex kan spontane of bevorderde emissie ondergaan, die zijn energiestaat verminderen tot een metastabiele, maar hoogst walgelijke grondstaat. De complexe grondstaat scheidt snel in unbound atomen:
2 ArF → 2 AR + F2

Het resultaat is een exciplexlaser die energie bij 193 NM uitstraalt, die in het verre ultraviolette gedeelte van het spectrum ligt, die met het energieverschil corresponderen van 6,4 elektronenvolts tussen de grondstaat en de opgewekte staat van het complex.

Het licht door ArF wordt uitgezonden is onzichtbaar aan het menselijke oog, zodat zijn de extra voorzorgsmaatregelen inzake veiligheid noodzakelijk wanneer het werken met deze laser om verdwaalde stralen te vermijden die. De handschoenen zijn nodig om het vlees tegen de potentiallycarcinogenic eigenschappen van de UVstraal te beschermen, en de UVbeschermende brillen zijn nodig om de ogen te beschermen.

Specificaties:

1. Fysische eigenschappen

2. Typische technische gegevens (COA)

3. Pakket

Toepassingen:

De Mengsels van het argonfluoride worden gebruikt in 193 NM-lithografietoepassingen, gewoonlijk samen met een inert gasmengsel.