Gedetailleerde informatie

Toepassing:	248nm lithografieproces en Gemengd met Halogeen die Gemengde Gassen gebruiken	CF4:	tetrafluoromethane
De V.N. Nr:	1982	Zuurstof:	O2
Pakket::	naadloze staalcilinders	Andere Namen:	Tetrafluoride van de zuurstofkoolstof Mengsel
Verschijning::	Kleurloos gas	Cilindersvolume::	10L, 25L, 40L of 50L
Rangnorm:	De Rang van de elektronenrang	Giftig:	Niet-toxisch
Hoog licht:	de specialiteitgassen van luchtliquide , speciale gassen

Productomschrijving

UHP-de Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels van van Gaso2 en CF4 met Tetrafluoromethane-Mengselfabrikant

Beschrijving:

Anisotrope etch.control. Andere halocarbons, evenals aanwezigheid van lucht of zuurstof, zijn schadelijk aan de controle van theTetrafluorideresultaten in superieure controle van het proces, dat in beter dimensionaal en profiel resulteert. Een hogere zuiverheid Carbonor CF2conditions, het fluor de vrije basissen typisch in de vorm van CF3Carbon-Tetrafluoride zijn is vrij inert in de normale omstandigheden en is asphyxiant. Onder rf plasmaprocesses. Koolstoftetrafluoride wordt gebruikt met zuurstof om polysilicon, siliciumdioxyde, en siliciumnitride te etsen. Koolstoftetrafluoride is een bron van fluor of koolstoffluoride de vrije die basissen in een verscheidenheid van wafeltje worden gebruikt etsen

Specificaties:

1. Fysische eigenschappen

Major Components
COMPONENTEN	CONCENTRATIE	WAAIER
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Saldo

2. Typischetechnischegegevens(COA)

Maximumonzuiverheden
COMPONENTEN	CONCENTRATIE (p.p.m.)
Kooldioxide (Co2)	<1>
Koolmonoxide (Co)	<1>
Vochtigheid (H2O)	<0>
Stikstof (N2)	<10>
Zuurstof (O2)	<5>
THC (als Methaan) (ch4)	<0>
Andere Halocarbons	<1>
Zwavelhexafluoride	<1>

Cilinder Specifications*			Inhoud	Druk
Cilinder	De Opties van de klepafzet		Ponden	Psig	BAR
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Toepassingen:

Tetrafluoromethane wordt soms gebruikt als lage temperatuurkoelmiddel.

Het wordt gebruikt in elektronikamicrofabrication alleen of in combinatie met zuurstof als plasma etchant voor silicium, siliciumdioxyde, en siliciumnitride.

Het heeft ook gebruik in neutronendetectors

label:

Plaats van herkomst:	China
Merknaam:	newradar / accept OME
Certificering:	ISO/DOT/GB
Modelnummer:	N/A

Min. bestelaantal:	1000 Liter
Prijs:	negotiation
Verpakking Details:	10kg, 40kg of 50kg in de gekwalificeerde die gasfles wordt of volgens de eisen wordt ingepakt ingepa
Levertijd:	15-25 ontvingen de werkdagen na uw betaling
Betalingscondities:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Levering vermogen:	3,00 kubieke meter per maand

UHP-de Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels van van Gaso2 en CF4 met Tetrafluoromethane-Mengselfabrikant

de specialiteitgassen van luchtliquide

speciale gassen

speciale gassen,

de specialiteitgassen van luchtliquide,

de specialiteitgassen van luchtproducten

De Specialiteitgasmengsels van Co SF6

Excimer Laser Speciale Gassen

Kleurloze Specialiteitgasmengsels

De Gasmengsels de Geurloze Krypton van de Monatomicspecialiteit en Laser van het Neonfluoride

Zeldzame Neon en Kryptonspecialiteitgasmengsels, Monatomic-Gas 99,999% Zuiverheid

Geurloze Elektrische Elektroindustrie 1L van Gasmengselsco SF6 - 50L-Cilinders

Het Gasmengsel van hoge die Zuiverheidsco SF6 in 40L, 50L-Cilinders wordt verpakt

Industrieel de Traceursgas van Co SF6, Elektrische Kleurloze Gasmengsels