Gedetailleerde informatie

CAS No.:	7439-90-9	De V.N. Nr:	1982
Zuiverheid::	99.999%	Pakket::	naadloze staalcilinders
Andere Namen:	Tetrafluoride van de zuurstofkoolstof Mengsel	Verschijning::	Kleurloos gas
Cilindersvolume::	10L, 25L, 40L of 50L	Rangnorm:	De Rang van de elektronenrang
Giftig:	Niet-toxisch	Toepassing:	248nm lithografieproces en Gemengd met Halogeen die Gemengde Gassen gebruiken
Hoog licht:	de specialiteitgassen van luchtproducten , de specialiteitgassen van luchtliquide

Productomschrijving

De Zuurstof van specialiteitgasmengsels 20% met Koolstoftetrafluoride CF4 Mixted O2 voor etst polysilicon, en siliciumdioxyde

Beschrijving:

Specialiteitgasmengsels

Koolstoftetrafluoride is een bron van fluor of koolstoffluoride vrije die basissen in een verscheidenheid van wafeltje worden gebruikt etchprocesses. Koolstoftetrafluoride wordt gebruikt met zuurstof om polysilicon, siliciumdioxyde, en siliciumnitride te etsen.

Koolstoftetrafluoride is vrij inert in de normale omstandigheden en is asphyxiant. In rf-de plasmaomstandigheden, zijn de fluor vrije basissen typisch in de vorm van CF3

of CF2. Een hogere zuiverheid CarbonTetrafluoride resulteert in superieure controle van het proces, dat in betere dimensionale en profielcontrole resulteert.

Andere halocarbons, evenals aanwezigheid van lucht of zuurstof, zijn schadelijk aan de controle van anisotroop etsen.

Specificaties:

1. Fysische eigenschappen

Major Components
COMPONENTEN	CONCENTRATIE	WAAIER
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Saldo

2. Typischetechnischegegevens(COA)

Maximumonzuiverheden
COMPONENTEN	CONCENTRATIE (p.p.m.)
Kooldioxide (Co2)	<1>
Koolmonoxide (Co)	<1>
Vochtigheid (H2O)	<0>
Stikstof (N2)	<10>
Zuurstof (O2)	<5>
THC (als Methaan) (ch4)	<0>
Andere Halocarbons	<1>
Zwavelhexafluoride	<1>

Cilinder Specifications*			Inhoud	Druk
Cilinder	De Opties van de klepafzet		Ponden	Psig	BAR
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Kleurloze Specialiteitgasmengsels 0

Toepassingen:

Tetrafluoromethane wordt soms gebruikt als lage temperatuurkoelmiddel.

Het wordt gebruikt in elektronikamicrofabrication alleen of in combinatie met zuurstof als plasma etchant voor silicium, siliciumdioxyde, en siliciumnitride.

Het heeft ook gebruik in neutronendetectors

label:

Plaats van herkomst:	China
Merknaam:	newradar / accept OME
Certificering:	ISO/DOT/GB
Modelnummer:	N/A

Min. bestelaantal:	1000 Liter
Prijs:	negotiation
Verpakking Details:	10kg, 40kg of 50kg in de gekwalificeerde die gasfles wordt of volgens de eisen wordt ingepakt ingepa
Levertijd:	15-25 ontvingen de werkdagen na uw betaling
Betalingscondities:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Levering vermogen:	3,00 kubieke meter per maand

Kleurloze Specialiteitgasmengsels

de specialiteitgassen van luchtproducten

de specialiteitgassen van luchtliquide

speciale gassen,

de specialiteitgassen van luchtliquide,

de specialiteitgassen van luchtproducten

De Specialiteitgasmengsels van Co SF6

Excimer Laser Speciale Gassen

Kleurloze Specialiteitgasmengsels

De Gasmengsels de Geurloze Krypton van de Monatomicspecialiteit en Laser van het Neonfluoride

UHP-de Zuurstof van de Specialiteitgasmengsels van van Gaso2 en CF4 met Tetrafluoromethane-Mengselfabrikant

Zeldzame Neon en Kryptonspecialiteitgasmengsels, Monatomic-Gas 99,999% Zuiverheid

Geurloze Elektrische Elektroindustrie 1L van Gasmengselsco SF6 - 50L-Cilinders

Het Gasmengsel van hoge die Zuiverheidsco SF6 in 40L, 50L-Cilinders wordt verpakt