CAS No.:: | 685-63-2 | Andere Namen:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
---|---|---|---|
Gevaarklasse: | 2.3 | Plaats van Oorsprong:: | Hubei |
Zuiverheid:: | 99.95% | Toepassing:: | Op fluorocarbon-gebaseerd plasma ets |
Pakket:: | naadloze staalcilinders | Cilindersvolume:: | 926L |
Hoog licht: | Elektrisch Gas,zuiverheid plus specialiteitgassen |
C4F6 gas, hexafluoro-1,3-Butadieen voor onderzoek chemisch laboratorium
Beschrijving:
Hexafluoro1,3‐ butadine is een giftig, kleurloos, geurloos, brandbaar vloeibaar samengeperst gas.
C4F6 het gas als etchant gas voor een hoog gat ets van het beeldverhoudingcontact kan een goed zijn
alternatief voor PFC-gassen.
hexafluoro-1,3-butadieen (C4F6) het droge etsgas dat het zich in Rusland heeft ontwikkeld. C4F6 laat droge ets bij een lijnbreedte toe van zo smal zoals 90 NM of minder. Het is daarom onontbeerlijk voor verwerkingssysteem LSIs en hoge snelheid, geheugenapparaten met hoge capaciteit die meer en meer in digitale elektrische toestellen en liquide crystale displays worden gebruikt.
Fluorocarbon de gassen worden wijd gebruikt voor het oxydefilm van het verwerkingssilicium. Vergeleken die met octafluorocyclobutane (C4F8) momenteel voor verwerking bij de lijnbreedte wordt gebruikt van 130 NM, heeft C4F6 de volgende voordelen:
1.Very lage milieulading aangezien het in minder dan twee die dagen in de atmosfeer wordt ontbonden (met 3.200 jaar voor C4F8 wordt vergeleken)
2.Therefore, nuttig als alternatief aan perfluorocarbons met hoog globaal het verwarmen potentieel.
3.High beeldverhouding, die in smalle en diepe groeven resulteren (geschikt om bij zeer smalle lijnbreedte te verwerken).
4.High selectiviteit (verzekert ets van slechts de film van het siliciumoxyde; beïnvloedt photoresist, siliciumsubstraat of nitride geen film)
FYSIEKE EN CHEMISCHE EIGENSCHAPPEN
VERSCHIJNING EN GEUR | GAS @ 25 °C EN 760 mmHg. |
SMELTPUNT: | -132.1 °C |
KOOKPUNT | 6 -7 °C @ 760 mmHg |
DAMPdruk: | 25 psia @ 20 °C |
DICHTHEID: | 1,553 g/ml @ -20 °C |
R.I.: | 1,378 @ -20 °C |
STANDAARDpakket INFORMATIE-AZIË EN NOORD-AMERIKA
Containergrootte | 44L staal | 8L staal |
Vul Gewichten (kg) | 45 | 5 |
Klep ConnecƟon | PneumaƟc DISS 724 | Handdiss 724 |
Cilinderafmetingen (binnen) | 9x51 | 7x19 |
Toepassingen:
1. Het kan in op fluor-gebaseerd ets gebruiken.
2. C4F6 kan als organometallic film gebruiken vormt gassen.